レーザ設備

マシンスペック

発振器　:Edge Wave スラブ型レーザ

レーザー結晶　:Nd:YVO4

波長　:532nm

最大平均出力　:20W

繰返し周波数　:1kHz～20MHz

パルスエネルギー　:100μJ

パルス幅　:＜15ps

ビーム品質　:M2=1.3

ステージ　:Ｘ-200mm　Ｙ-150mm　Ｚ-200mm　θ-L200mm-φ30（φ200）